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簡要描述:Carrier.OBxxx.C,壓電陶瓷掃描臺,物鏡型,兼容無磁高真空“Carrier.OB系列“ 大行程掃描載物臺 — 精密光學,半導體表征
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壓電·大范圍掃描運動 Carrier.OBxxx.C
? 針對顯微物鏡的大負載、高動態(tài)、緊湊型解決方案,用于顯微成像、自動對焦等應用
• Z 方向運動范圍 50-400 um;
• 最快穩(wěn)定時間(90%位置穩(wěn)定)10 ms以內(nèi);
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1 nm;
• 控制器兼容多場科技MC-Archimedes Series;
• ?持無磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)選件升級;
壓電陶瓷掃描臺,物鏡型,兼容無磁高真空——詳細參數(shù):
壓電陶瓷掃描臺,物鏡型,兼容無磁高真空——尺寸圖:
Carrier.OB050.C
Carrier.OB100.C
Carrier.OB200.C
Carrier.OB400.C
多場科技“壓電掃描臺·物鏡型"解決方案Carrier.OB.系列主要針對精密光學,半導體表征等應用場景,核心特點包括:
• Z方向單一運動方向,行程覆蓋50-400 um
• 快速運動穩(wěn)定,10 ms內(nèi)完成
• 支持高負載物鏡選項;提供多種物鏡轉(zhuǎn)接接口
• 支持第三方軟、硬件控制,實現(xiàn)自動對焦
• 支持電容(.C) 位置傳感
• 最高分辨率達到0.2 nm
• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級
• 控制器兼容多場科技 Motion Controller - Archimedes Series
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